动力电池技术的发展有赖于其他技术的同步发展。由于真空获得设备的逐渐成熟，且真空技术使传统工艺产生的独特效果，使其已经越来越多的应用于动力电池的制造过程中，使得动力电池的制造技术水平有了质的提升。真空系统在锂电池生产中是很庞大的系统，真空系统设计的好坏对锂电池的生产品质有着至关重要的影响。
动力电池生产过程中大量使用着碳材料，比如说锂电池的负极材料、超级电容的电极、碳基粉体等。基于碳材料具有多孔吸附和超大的表面积等物理特性，很容易吸收水分和杂质。由于水变成蒸汽后体积将剧烈膨胀，甚至可以达到自身的1700倍之多，同时将发生电解，在一些恶劣条件下（过充电、高温、大压差），由于水的体积变大并且导电，使得电池内部的电阻变大，内阻上产生的大量热量导致电池内部温度过高，很容易将隔膜融化，电池内部将严重变形，而且通用的正极材料LIPF对水分和温度异常敏感，进而发生裂解，轻则导致电池报废，重则引发安全问题。
传统的锂电池生产过程包括：负极合浆、正极合浆、涂布、碾压、分切、烘烤、卷绕、入壳、电焊、注液、焊冒盖、清洗、干燥储存、检测对齐度、壳体喷码、化成、OCV测量、常温储存、分容等。其中，正极合浆、负极合浆、涂布、卷绕、烘烤、注液、化成等工序需要配备真空系统。
在烘烤工序中，锂电池极片中的水分对电池性能有很大影响，过量水分将会影响其电化学性能。因此需要设置烘箱间，将极片或电芯放置在烘箱的可移动真空腔体中，通过烘烤与抽真空相结合的方式除去水分。与常压干燥相比，这种方式的优点是真空干燥能够避免在常压干燥时容易出现的产品表面硬化现象，这是由于真空环境时极片表面与内部的压差大，压力梯度使水分更快速地移出表面，干燥效率高，干燥温度低，利于电池内部集流体与活性物质的粘结。
真空设备在锂电池前端研发到中试以及规模化生产的整个周期中均有重要应用。目前，锂电池规模化制造过程中的合浆、卷绕、叠片、装配、烘箱、注液、化成等主要工序都对真空系统提出了更高的要求，以Edwards干式螺杆泵GXS为代表的干式真空解决方案获得了大量的市场应用。作为全球领先的真空技术品牌，Edwards真空产品广泛应用于半导体、新能源、化工、科研等行业。
